产品详情
| 产品 | 产品介绍 | 分类 | 关键机能描述 |
| DZ38X系列 | 用于集成电路造作中,,,,,,,金属铜后洗濯的碱性配方型洗濯液,,,,,,,能有效去除表表颗粒、有机物及金属传染物,,,,,,,并兼具铜;;;;;ぶ澳,,,,,,,已在存储器件与逻辑器件量产中使用。。。。。 | 金属类化学机械抛光后洗濯液 | 产品洗濯成效优异,,,,,,,安全机能高,,,,,,,Q-time较高,,,,,,,对铜的侵蚀速度低 |
| DZ611 | 用于集成电路造作中,,,,,,,金属铜及金属钨CMP后洗濯的酸性配方型洗濯液,,,,,,,利用覆盖多个工艺节点,,,,,,,能有效去除表表颗粒、有机物及金属传染物。。。。。 | 产品洗濯成效优异,,,,,,,安全机能高,,,,,,,对铜的侵蚀速度低 | |
| DZ101 | 用于集成电路造作中,,,,,,,金属钨和氮化硅CMP后洗濯的配方型洗濯液,,,,,,,在涉及多沉资料界面的CMP后洗濯工艺中拥有优良的清洁阐发。。。。。产品已在逻辑器件量产中使用。。。。。 | 产品对W、SiN、TEOS、TiN和Co等多种资料拥有优良的兼容性及洗濯成效 | |
| DZ105 | 用于集成电路造作中,,,,,,,金属钨断根沾污的酸性配方型洗濯液,,,,,,,旨在针对抛光垫表表清洁,,,,,,,用于降低金属栅极工艺的沾污水平。。。。。 | 产品对W、SiN、Co、Al、Ti、TiN拥有极低的侵蚀速度及优良的洗濯成效 | |
| DZ4XX系列 | 用于集成电路造作中,,,,,,,金属钨CMP后洗濯的弱酸型洗濯液,,,,,,,重要用于金属栅极洗濯,,,,,,,已在逻辑器件量产中使用。。。。。 | 产品在W和TEOS表表占有很好的洗濯机能,,,,,,,同时对W、SiN、TEOS、TiN以及Co占有优良的资料兼容性。。。。。 | |
| DZ6XX系列 | 用于集成电路造作中,,,,,,,金属铝CMP后洗濯的酸性洗濯液,,,,,,,拥有优良的清洁阐发及极低的缺点率,,,,,,,已在逻辑器件量产中使用。。。。。 | 产品洗濯成效优异,,,,,,,与Al、TEOS等多种资料兼容性佳,,,,,,,对铝的侵蚀速度较低。。。。。 | |
| DZ1XX系列 | 用于集成电路造作中,,,,,,,多晶硅和氮化硅 CMP后洗濯的配方型洗濯液,,,,,,,利用于抛光垫表表,,,,,,,能有效去除表表颗粒传染物,,,,,,,已在逻辑器件量产中使用。。。。。 | 非金属类化学机械抛光后洗濯液 | 产品兼容Poly-Si、SiN和TEOS,,,,,,,能够合用于STI、ILD、ILD0以及Poly等造程的辅助洗濯 |
关键词:洗濯液
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洗濯液
重要用于去除残留在晶圆表表的微尘颗粒、有机物、无机物、金属离子、氧化物等杂质,满足集成电路造作对清洁度的极高要求,对晶圆出产的良率起到了沉要的作用。。。。。
有关产品
集成电路资料
CMP造程资料
半导体先进封装
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封装光刻胶
ghi线曝光;;;;;<br> 分辨率5μm~10μm;;;;;<br> 覆盖高/低温固化PSPI;;;;;<br> 膜厚5μm~15μm;;;;;<br> 固化温度200℃~400℃;;;;;<br> 具备优异的电学、力学机能和Cu附着力
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一时键合胶
常温、低压力键合;;;;;<br> 极强的耐高温能力;;;;;<br> 300℃持久耐温>1.5h;;;;;<br> 可机械、激光解键合(248nm/308nm/355nm)
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晶圆级绝缘钝化层资料
晶圆级钝化层PI/PSPI,,,,,,,是在晶圆级封装(WLP)工艺中利用的关键资料。。。。。通过旋涂、曝鲜明影形成图形化;;;;;げ恪。。。。经高温固化后,,,,,,,为芯片表表提供优异的钝化;;;;;ず陀α撼,,,,,,,有效提高器件靠得住性。。。。。
半导体显示资料
OLED
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YPI
粘度4000cP~7000cP;;;;;<br> 固含量10%~20%;;;;;<br> 膜厚5μm~15μm固化温度450℃~480℃;;;;;<br> 1%失沉温度>560℃;;;;;<br> 具备优异的力学光学机能
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PSPI
ghi线曝光;;;;;<br> 分辨率2μm~3μm;;;;;<br> 覆盖高/低感光度PSPI;;;;;<br> 膜厚1μm~5μm;;;;;<br> 固化温度250℃~280℃;;;;;<br> 具备优异的光学、力学机能
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TFE INK
粘度20cP~22cP;;;;;<br> 水分<50ppm;;;;;<br> 395nmUV固化;;;;;<br> 膜厚6μm~15μm;;;;;<br> 具备优异的光学机能
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BPDL
分辨率5μm;;;;;<br> 粒径50~70nm;;;;;<br> 固化温度250℃~280℃;;;;;<br> 膜厚1μm~5μm;;;;;<br> OD(光密度)>1/μm
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无氟PSPI
ghi线曝光;;;;;<br> 分辨率2μm~3μm;;;;;<br> 覆盖高/低感光度PFAS free PSPI;;;;;<br> 膜厚1μm~5μm;;;;;<br> 固化温度250℃~280℃;;;;;<br> 具备优异的光学、力学机能
MICRO-LED
锂电高端职能性辅材
职能助剂
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润湿分散剂HFW-118
1、造浆效能提升10-20%;;;;;<br> 2、涂布表观显著改善。。。。。
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碳源分散剂HFF-1176
1、浆料固含提升5-6%;;;;;研磨效能提升20%;;;;;<br> 2、碳含量一样下,,,,,,,粉阻幼于10.
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分散剂HFF-2808
1、提高浆料固含量:3-6个点;;;;;<br> 2、降低辊压:降低20%;;;;;<br> 3、改善柔性:1次以上;;;;;<br> 4、提升压实:0.03-0.05
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分散剂HFF-29XX系列
1、适配性强:可适配分歧工艺路线LFP和分歧类型PVDF;;;;;<br> 2、降粘提固稳粘:LFP浆料固含提高至65%以上,,,,,,,浆料粘度维持不变反弹幼。。。;;;;;<br> 3、极片压实提升0.03-0.1%;;;;;柔性提升20-30%。。。。。
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防开裂助剂HFW-110
1、适配80m/min以上快涂工艺;;;;;<br> 2、抗开裂成效提升20-30%,,,,,,,极片良率提升。。。。。
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