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洗濯液
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洗濯液

所属分类: CMP造程资料

重要用于去除残留在晶圆表表的微尘颗粒、有机物、无机物、金属离子、氧化物等杂质,满足集成电路造作对清洁度的极高要求,对晶圆出产的良率起到了沉要的作用。。。。。

产品详情

产品产品介绍分类关键机能描述
DZ38X系列

用于集成电路造作中,,,,,,,金属铜后洗濯的碱性配方型洗濯液,,,,,,,能有效去除表表颗粒、有机物及金属传染物,,,,,,,并兼具铜;;;;;ぶ澳,,,,,,,已在存储器件与逻辑器件量产中使用。。。。。

金属类化学机械抛光后洗濯液

产品洗濯成效优异,,,,,,,安全机能高,,,,,,,Q-time较高,,,,,,,对铜的侵蚀速度低

DZ611

用于集成电路造作中,,,,,,,金属铜及金属钨CMP后洗濯的酸性配方型洗濯液,,,,,,,利用覆盖多个工艺节点,,,,,,,能有效去除表表颗粒、有机物及金属传染物。。。。。

产品洗濯成效优异,,,,,,,安全机能高,,,,,,,对铜的侵蚀速度低

DZ101

用于集成电路造作中,,,,,,,金属钨和氮化硅CMP后洗濯的配方型洗濯液,,,,,,,在涉及多沉资料界面的CMP后洗濯工艺中拥有优良的清洁阐发。。。。。产品已在逻辑器件量产中使用。。。。。

产品对W、SiN、TEOS、TiN和Co等多种资料拥有优良的兼容性及洗濯成效

DZ105

用于集成电路造作中,,,,,,,金属钨断根沾污的酸性配方型洗濯液,,,,,,,旨在针对抛光垫表表清洁,,,,,,,用于降低金属栅极工艺的沾污水平。。。。。

产品对W、SiN、Co、Al、Ti、TiN拥有极低的侵蚀速度及优良的洗濯成效

DZ4XX系列

用于集成电路造作中,,,,,,,金属钨CMP后洗濯的弱酸型洗濯液,,,,,,,重要用于金属栅极洗濯,,,,,,,已在逻辑器件量产中使用。。。。。

产品在W和TEOS表表占有很好的洗濯机能,,,,,,,同时对W、SiN、TEOS、TiN以及Co占有优良的资料兼容性。。。。。

DZ6XX系列

用于集成电路造作中,,,,,,,金属铝CMP后洗濯的酸性洗濯液,,,,,,,拥有优良的清洁阐发及极低的缺点率,,,,,,,已在逻辑器件量产中使用。。。。。

产品洗濯成效优异,,,,,,,与Al、TEOS等多种资料兼容性佳,,,,,,,对铝的侵蚀速度较低。。。。。

DZ1XX系列

用于集成电路造作中,,,,,,,多晶硅和氮化硅 CMP后洗濯的配方型洗濯液,,,,,,,利用于抛光垫表表,,,,,,,能有效去除表表颗粒传染物,,,,,,,已在逻辑器件量产中使用。。。。。

非金属类化学机械抛光后洗濯液

产品兼容Poly-Si、SiN和TEOS,,,,,,,能够合用于STI、ILD、ILD0以及Poly等造程的辅助洗濯

关键词:洗濯液

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洗濯液

洗濯液

重要用于去除残留在晶圆表表的微尘颗粒、有机物、无机物、金属离子、氧化物等杂质,满足集成电路造作对清洁度的极高要求,对晶圆出产的良率起到了沉要的作用。。。。。

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